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    盛美上海首臺PECVD SiCN設備順利出機
    

    
    來源：人民財訊作者：李在山2026-04-27 08:18
    
    
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    人民財訊4月27日電，4月27日，盛美上海宣布，其首臺等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）碳氮化硅（SiCN）設備已正式出機。該設備旨在支持55納米及以下高端IC工藝的后段金屬互聯工藝應用中的PECVD NDC (SiCN)工藝，應用場景包括銅氧化抑制、銅擴散阻擋層及刻蝕停止層。
                
    
          
    責任編輯： 劉良文
    
            
    
        
                            
    
    
    
                      
    
        
    
        
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