5月6日晚,鼎龍股份(300054)公告稱,控股子公司——武漢鼎澤新材料技術有限公司,近期在半導體CMP拋光液領域接連取得三項重大進展,分別在大硅片精拋液、氧化鈰拋光液、先進封裝用TSV拋光液領域實現產品突破并獲得客戶訂單。
大硅片精拋液、氧化鈰拋光液、先進封裝用TSV拋光液領域在國內的市場規模合計超10億元,目前國產化率極低。鼎龍股份認為,公司此次實現多類拋光液產品突破,進一步補齊國內高端CMP拋光液供給短板,更好響應國內多類核心客戶端拋光液本土化供應需求。
具體來看,近期,鼎龍股份自主研發的大硅片精拋液產品,成功通過客戶嚴苛的產品認證,正式獲得訂單,并已啟動批量交付。該產品主要應用于12英寸(300mm)單晶硅晶片制造環節。
12英寸單晶硅晶片作為全球集成電路制造的核心基底材料,應用于該領域的拋光液產品長期由國外廠商壟斷。鼎龍股份憑借多年在CMP拋光液領域的技術積累與工藝沉淀,成功攻克大硅片精拋的核心技術難點,實現該領域產品的國產化破局,進一步完善了公司在半導體硅材料全流程加工的材料布局。本次訂單的取得,標志著公司拋光液產品的業務范圍,從已有的半導體器件后端加工領域,正式向上游拓展至技術壁壘更高的大尺寸硅片前端制造領域,進一步打開市場空間。
同時,鼎龍股份自主研發生產的氧化鈰CMP拋光液產品,近期成功通過國內龍頭存儲芯片制造企業的全流程驗證,獲得客戶批量訂單,正式進入規模化供應階段。該產品是3D NAND、DRAM及HBM(高帶寬內存)等主流存儲器件制造的核心剛需材料,直接應用于淺溝槽隔離(STI)、層間介質(ILD)等關鍵平坦化工序,是保障多層堆疊結構精度、提升芯片良率與性能的關鍵耗材。
氧化鈰CMP拋光液的市場長期由國外廠商主導,鼎龍股份應客戶緊急需求,從氧化鈰研磨粒子攻堅,再通過配方調試匹配用戶需求,僅耗時一年即順利通過客戶全流程驗證,實現從研磨粒子到拋光液產品的全國產化供應,從底層技術解決客戶難題。
另外,鼎龍股份自主研發的TSV(硅通孔)拋光液,已順利通過國內先進封裝龍頭客戶的全流程驗證。TSV是2.5D/3D先進封裝的核心工藝環節, TSV拋光液是實現硅通孔表面高精度平坦化、保障封裝良率的關鍵材料,具備較高技術壁壘與研發門檻。
此前,國內在TSV(硅通孔)拋光液細分市場的參與者相對單一。鼎龍股份TSV拋光液完成客戶驗證并實現技術產業化突破,進一步豐富了國內高端CMP拋光液供給體系,完善了產業配套選擇,助力國內先進封裝產業鏈降低單一供應鏈依賴,持續推進國產化自主化進程。
鼎龍股份表示,此次三款核心拋光液產品同時實現技術突破并斬獲訂單,是公司長期深耕半導體材料研發、堅持自主創新的重要成果體現,進一步完善了公司CMP拋光液產品矩陣,除已有的邏輯工藝和存儲器件以外,新增覆蓋大硅片、下一代存儲制造與先進封裝三大核心賽道,有望顯著提升公司在半導體材料領域的核心競爭力、市場地位與盈利能力,為公司培育新的增長引擎。