截至5月20日收盤，光刻機(jī)概念上漲3.10%，位居概念板塊漲幅第3，板塊內(nèi)，38股上漲，張江高科、晶方科技等漲停，同飛股份、中船特氣、沃格光電等漲幅居前，分別上漲12.76%、12.25%、9.94%。跌幅居前的有中瓷電子、華辰裝備、泰晶科技等，分別下跌4.40%、3.92%、3.14%。
今日漲跌幅居前的概念板塊
| 概念 | 今日漲跌幅（%） | 概念 | 今日漲跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 國家大基金持股 | 4.12 | Web3.0 | -2.97 |
| 中芯國際概念 | 3.46 | 快手概念 | -2.95 |
| 光刻機(jī) | 3.10 | AI視頻 | -2.94 |
| 存儲芯片 | 3.08 | NFT概念 | -2.73 |
| 光刻膠 | 2.33 | DRG/DIP | -2.64 |
| PVDF概念 | 2.29 | 小紅書概念 | -2.63 |
| 先進(jìn)封裝 | 2.03 | 智譜AI | -2.57 |
| 氟化工概念 | 1.66 | MLOps概念 | -2.55 |
| 汽車芯片 | 1.51 | 互聯(lián)網(wǎng)保險 | -2.54 |
| OLED | 1.42 | 數(shù)據(jù)確權(quán) | -2.52 |
資金面上看，今日光刻機(jī)概念板塊獲主力資金凈流入21.13億元，其中，31股獲主力資金凈流入，10股主力資金凈流入超億元，凈流入資金居首的是晶方科技，今日主力資金凈流入7.02億元，凈流入資金居前的還有張江高科、大族激光、新萊應(yīng)材等，主力資金分別凈流入7.01億元、6.09億元、1.74億元。
資金流入比率方面，張江高科、晶方科技、美埃科技等流入比率居前，主力資金凈流入率分別為31.49%、28.97%、12.33%。（數(shù)據(jù)寶）
光刻機(jī)概念資金流入榜
| 代碼 | 簡稱 | 今日漲跌幅（%） | 今日換手率（%） | 主力資金流量（萬元） | 主力資金凈流入比率（%） |
|---|---|---|---|---|---|
| 603005 | 晶方科技 | 10.01 | 10.26 | 70205.82 | 28.97 |
| 600895 | 張江高科 | 10.01 | 3.91 | 70050.35 | 31.49 |
| 002008 | 大族激光 | 5.51 | 6.53 | 60854.40 | 6.90 |
| 300260 | 新萊應(yīng)材 | 2.34 | 12.25 | 17444.68 | 7.32 |
| 301095 | 廣立微 | 6.73 | 6.79 | 16337.98 | 12.33 |
| 600619 | 海立股份 | 4.68 | 11.22 | 13016.69 | 7.66 |
| 301421 | 波長光電 | 7.48 | 30.75 | 12815.25 | 7.84 |
| 300990 | 同飛股份 | 12.76 | 17.80 | 12467.96 | 9.17 |
| 300456 | 賽微電子 | 1.48 | 8.54 | 11532.87 | 4.46 |
| 688630 | 芯碁微裝 | 4.33 | 5.40 | 11454.76 | 5.63 |
| 688195 | 騰景科技 | 5.43 | 5.97 | 9799.36 | 3.78 |
| 300331 | 蘇大維格 | 6.46 | 11.32 | 9659.77 | 6.54 |
| 688146 | 中船特氣 | 12.25 | 17.10 | 8288.24 | 2.47 |
| 688502 | 茂萊光學(xué) | 8.76 | 4.93 | 7223.94 | 4.89 |
| 688167 | 炬光科技 | 2.00 | 6.22 | 5061.84 | 1.91 |
| 688376 | 美?？萍?/td> | -2.39 | 2.75 | 3815.70 | 12.33 |
| 003043 | 華亞智能 | 4.13 | 12.66 | 3294.58 | 4.65 |
| 600353 | 旭光電子 | 2.93 | 9.01 | 2888.10 | 1.62 |
| 688010 | 福光股份 | 2.08 | 6.17 | 2203.42 | 5.50 |
| 603800 | 洪田股份 | 2.26 | 3.43 | 1840.38 | 4.40 |
| 300219 | 鴻利智匯 | 1.71 | 5.34 | 1558.14 | 5.02 |
| 300786 | 國林科技 | 5.24 | 16.77 | 1490.06 | 3.04 |
| 603360 | 百傲化學(xué) | 0.42 | 3.82 | 1188.02 | 1.83 |
| 300293 | 藍(lán)英裝備 | 4.02 | 7.21 | 1094.13 | 2.15 |
| 301297 | 富樂德 | 0.25 | 7.23 | 1003.96 | 0.74 |
| 688307 | 中潤光學(xué) | 3.75 | 5.97 | 953.41 | 1.44 |
| 301568 | 思泰克 | -0.75 | 8.51 | 537.98 | 2.16 |
| 002549 | 凱美特氣 | 1.60 | 6.83 | 473.94 | 0.53 |
| 002816 | *ST和科 | 3.09 | 4.90 | 432.82 | 3.50 |
| 002889 | 東方嘉盛 | 1.18 | 2.30 | 362.08 | 4.59 |
| 688199 | 久日新材 | 1.52 | 4.42 | 34.71 | 0.16 |
| 600889 | *ST京化 | -0.99 | 0.72 | -13.12 | -0.33 |
| 300414 | 中光防雷 | -1.71 | 1.69 | -183.25 | -2.62 |
| 688079 | 美迪凱 | 1.35 | 3.87 | -186.78 | -0.65 |
| 603297 | 永新光學(xué) | 4.06 | 3.53 | -235.78 | -0.41 |
| 301209 | 聯(lián)合化學(xué) | 1.07 | 1.30 | -456.65 | -4.05 |
| 688605 | 先鋒精科 | 3.82 | 10.07 | -1097.70 | -1.20 |
| 301611 | 珂瑪科技 | 3.66 | 9.75 | -1318.31 | -0.75 |
| 688409 | 富創(chuàng)精密 | 7.20 | 3.50 | -2266.49 | -1.23 |
| 600850 | 電科數(shù)字 | -0.04 | 9.61 | -5450.34 | -3.63 |
| 301128 | 強(qiáng)瑞技術(shù) | -0.39 | 6.10 | -7485.44 | -7.04 |
| 688127 | 藍(lán)特光學(xué) | -0.20 | 2.27 | -7616.19 | -8.42 |
| 300809 | 華辰裝備 | -3.92 | 6.78 | -7783.58 | -20.26 |
| 300666 | 江豐電子 | -0.12 | 7.13 | -12388.29 | -3.73 |
| 688268 | 華特氣體 | 3.72 | 9.47 | -15425.83 | -7.20 |
| 603773 | 沃格光電 | 9.94 | 15.02 | -17131.42 | -6.96 |
| 003031 | 中瓷電子 | -4.40 | 4.05 | -28197.35 | -12.36 |
| 603738 | 泰晶科技 | -3.14 | 14.58 | -40842.31 | -14.41 |
