截至5月14日收盤，光刻機概念上漲0.29%，位居概念板塊漲幅第6，板塊內，20股上漲，中船特氣20%漲停，中瓷電子漲停，美迪凱、中潤光學、旭光電子等漲幅居前，分別上漲8.01%、7.79%、7.76%。跌幅居前的有芯碁微裝、沃格光電、茂萊光學等，分別下跌6.13%、5.43%、5.16%。
今日漲跌幅居前的概念板塊
| 概念 | 今日漲跌幅（%） | 概念 | 今日漲跌幅（%） |
|---|---|---|---|
| 豬肉 | 2.64 | 柔性直流輸電 | -4.09 |
| 環(huán)氧丙烷 | 2.39 | Sora概念(文生視頻) | -4.08 |
| 養(yǎng)雞 | 2.03 | 國產航母 | -3.90 |
| 第三代半導體 | 0.84 | 數(shù)字水印 | -3.90 |
| 白酒概念 | 0.69 | 軍工信息化 | -3.86 |
| 光刻機 | 0.29 | 智譜AI | -3.83 |
| 有機硅概念 | 0.15 | 快手概念 | -3.54 |
| PVDF概念 | 0.04 | Web3.0 | -3.54 |
| NMN概念 | 0.01 | ChatGPT概念 | -3.50 |
| 舉牌 | -0.07 | AI語料 | -3.49 |
資金面上看，今日光刻機概念板塊獲主力資金凈流入3.29億元，其中，19股獲主力資金凈流入，6股主力資金凈流入超億元，凈流入資金居首的是賽微電子，今日主力資金凈流入8.14億元，凈流入資金居前的還有凱美特氣、中瓷電子、旭光電子等，主力資金分別凈流入3.07億元、2.25億元、1.82億元。
資金流入比率方面，凱美特氣、賽微電子、藍英裝備等流入比率居前，主力資金凈流入率分別為17.01%、14.41%、10.05%。（數(shù)據(jù)寶）
光刻機概念資金流入榜
| 代碼 | 簡稱 | 今日漲跌幅（%） | 今日換手率（%） | 主力資金流量（萬元） | 主力資金凈流入比率（%） |
|---|---|---|---|---|---|
| 300456 | 賽微電子 | 6.38 | 18.23 | 81445.58 | 14.41 |
| 002549 | 凱美特氣 | 5.68 | 12.98 | 30728.52 | 17.01 |
| 003031 | 中瓷電子 | 10.00 | 4.94 | 22511.72 | 8.25 |
| 600353 | 旭光電子 | 7.76 | 14.10 | 18185.73 | 7.44 |
| 300260 | 新萊應材 | 6.27 | 17.41 | 17904.16 | 5.76 |
| 688146 | 中船特氣 | 20.00 | 18.60 | 13852.06 | 3.68 |
| 301611 | 珂瑪科技 | -0.68 | 13.92 | 6607.58 | 2.72 |
| 688268 | 華特氣體 | 3.79 | 9.42 | 6556.00 | 3.07 |
| 603005 | 晶方科技 | -2.67 | 7.76 | 4581.17 | 2.71 |
| 603360 | 百傲化學 | 3.54 | 4.01 | 4571.72 | 7.47 |
| 688127 | 藍特光學 | 3.32 | 2.96 | 3368.72 | 2.94 |
| 300293 | 藍英裝備 | 1.18 | 4.28 | 2887.77 | 10.05 |
| 688079 | 美迪凱 | 8.01 | 6.61 | 2490.47 | 5.00 |
| 688605 | 先鋒精科 | 2.33 | 10.33 | 1702.27 | 2.09 |
| 603297 | 永新光學 | -0.02 | 2.36 | 1665.42 | 4.50 |
| 300219 | 鴻利智匯 | 1.88 | 5.52 | 1400.09 | 4.44 |
| 688376 | 美埃科技 | 0.03 | 2.81 | 1383.11 | 4.74 |
| 301209 | 聯(lián)合化學 | 0.01 | 1.43 | 596.81 | 4.79 |
| 301568 | 思泰克 | -2.67 | 7.95 | 229.63 | 1.00 |
| 301297 | 富樂德 | -0.81 | 6.42 | -128.02 | -0.11 |
| 002889 | 東方嘉盛 | -2.41 | 1.06 | -160.36 | -4.60 |
| 300786 | 國林科技 | 2.26 | 13.06 | -270.05 | -0.77 |
| 301095 | 廣立微 | 1.01 | 6.65 | -277.12 | -0.22 |
| 688199 | 久日新材 | -2.77 | 2.74 | -349.01 | -2.72 |
| 600889 | *ST京化 | -2.08 | 0.89 | -396.65 | -8.03 |
| 002816 | *ST和科 | -1.87 | 3.84 | -473.18 | -4.85 |
| 688307 | 中潤光學 | 7.79 | 6.77 | -584.18 | -0.76 |
| 300809 | 華辰裝備 | -4.78 | 4.53 | -909.46 | -3.74 |
| 600850 | 電科數(shù)字 | -3.67 | 2.23 | -1120.15 | -3.76 |
| 688010 | 福光股份 | -2.74 | 2.68 | -1295.65 | -8.84 |
| 300414 | 中光防雷 | -3.44 | 3.60 | -1314.77 | -8.55 |
| 603773 | 沃格光電 | -5.43 | 14.68 | -1923.67 | -0.69 |
| 603800 | 洪田股份 | -0.71 | 4.63 | -1930.20 | -3.50 |
| 003043 | 華亞智能 | -3.47 | 7.19 | -2354.00 | -6.51 |
| 301128 | 強瑞技術 | -0.71 | 5.24 | -2737.92 | -2.50 |
| 301421 | 波長光電 | -4.54 | 14.59 | -3492.54 | -4.85 |
| 300990 | 同飛股份 | -3.22 | 5.54 | -3745.15 | -9.43 |
| 600619 | 海立股份 | -2.47 | 2.86 | -3840.60 | -9.47 |
| 688502 | 茂萊光學 | -5.16 | 4.17 | -5181.28 | -4.23 |
| 603738 | 泰晶科技 | -1.89 | 15.44 | -6321.71 | -1.97 |
| 688409 | 富創(chuàng)精密 | 6.33 | 3.58 | -7538.44 | -4.94 |
| 300666 | 江豐電子 | -3.36 | 6.61 | -9064.65 | -3.31 |
| 688195 | 騰景科技 | -1.78 | 5.85 | -12147.38 | -4.25 |
| 688167 | 炬光科技 | -2.46 | 8.73 | -13979.55 | -3.39 |
| 300331 | 蘇大維格 | -3.99 | 6.67 | -16559.59 | -20.68 |
| 688630 | 芯碁微裝 | -6.13 | 4.72 | -16632.78 | -9.72 |
| 600895 | 張江高科 | -4.23 | 2.67 | -20711.15 | -13.87 |
| 002008 | 大族激光 | 0.74 | 6.40 | -54280.02 | -5.87 |
